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光学元件加工测量
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光学元件加工测量
光学元件加工测量
光学精密器件加工与检测
 
加工测量设备
 
1，传统冷加工、环抛机、双面抛光机等大口径平面加工装置;
 
2，超精密铣磨、精密雕刻、气囊抛光、小磨头、磁流变、离子束等非球面加工装置，
 
3，轮廓测量、干涉仪测量、粗糙度测量、表面疵病测量、几何误差测量等检测平台。
 
 
加工、测量能力
 
1，可加工和检测Φ100-600mm平面、球面、同轴/离轴非球面、双曲率面、圆柱面、非球柱面、自由曲面等多种类型。
 
2，加工精度最高达到±20nm PV或5nm RMS，粗糙度达到0.3nm Rq。

 

 

 

 

 

 
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